MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：62
- 题名/责任者:
- 半导体化学清洗原理及应用/刘秀喜著
- 出版发行项:
- 济南:山东科学技术出版社,1985
- ISBN及定价:
- /￥1.50
- 载体形态项:
- 263页;19cm
- 个人责任者:
- 刘秀喜 著
- 学科主题:
- 半导体器件-化学净化
- 学科主题:
- 化学净化-半导体器件
- 学科主题:
- 集成电路-化学净化
- 学科主题:
- 化学净化-集成电路
- 中图法分类号:
- TN305.99
全部MARC细节信息>>
MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：62
调节书库