MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：19
- 题名/责任者:
- 光致抗蚀剂:光刻胶/中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》组编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,1977
- ISBN及定价:
- /￥0.72
- 载体形态项:
- 190页;19cm
- 团体责任者:
- 中国科学院化学研究所光致抗蚀剂组 编著
- 学科主题:
- 半导体工艺-电子束光刻
- 学科主题:
- 电子束光刻-半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305.7
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