MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:13
- 题名/责任者:
- 半导体器件制造工艺常用数据手册/刘秀喜,高大江编
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,1992.9
- ISBN及定价:
- 7-5053-1661-3/¥40
- ISBN及定价:
- 7-5053-1660-5 精装/¥45
- 载体形态项:
- 602页;26cm
- 编目员补充题名:
- 半导体 器件
- 丛编项:
- 电子工程手册系列丛书;B5
- 个人责任者:
- 刘秀喜 编
- 个人责任者:
- 高大江 编
- 学科主题:
- 半导体器件-数据-手册
- 中图法分类号:
- TN305
- 提要文摘附注:
- 本手册包括:物理常数、常用元素、杂质及扩散源、电热材料、工艺安全、管壳外形标准化等
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