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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：22

题名/责任者:
微机电系统技术/石庚辰编著
出版发行项:
北京:国防工业出版社,2002.1
ISBN及定价:
7-118-02560-7 精装/￥18.00
载体形态项:
217页:图;20cm
并列正题名:
Micro electro mechanical system
丛编项:
先进制造技术丛书
个人责任者:
石庚辰 编著
学科主题:
机电系统，微型-技术
中图法分类号:
TM38
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书介绍了微机电系统技术基本概要、微机电系统常用材料、加工技术、微传感器和能源等问题。
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