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文献类型：中文图书 浏览次数：22
- 题名/责任者:
- 微机电系统/梅涛，伍小平主编
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2003.1
- ISBN及定价:
- 7-5025-4320-1/CNY15.00
- 载体形态项:
- 197页;20cm
- 丛编项:
- 高新技术科普丛书
- 个人责任者:
- 梅涛 主编
- 个人责任者:
- 伍小平 主编
- 学科主题:
- 微电机-普及读物
- 学科主题:
- 微电机
- 中图法分类号:
- TM38
- 一般附注:
- 国家科普知识重点图书
- 提要文摘附注:
- 本书论述微机械加工工艺、MEMS力学问题、微型传感器、微执行器、真空微电子器件、典型微系统与应用等。
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- 豆瓣简介：
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