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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:10

题名/责任者:
微光机电系统(MOEMS)/张文栋, 熊继军编著
出版发行项:
北京:机械工业出版社,2006
ISBN及定价:
7-111-19266-4/CNY28.00
载体形态项:
10,310页:图;24cm
丛编项:
光机电一体化技术丛书
个人责任者:
张文栋 编著
个人责任者:
熊继军 编著
学科主题:
微光技术-应用-机电系统
中图法分类号:
TH-39
提要文摘附注:
本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况,微器件的结构设计与仿真,常用的微制造技术;重点介绍了各种MOEMS器件,包括微力学器件、RF微器件、微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TH-39/7 B00417315 2006 - 自然科学图书借阅室     借出-应还日期:2015-09-29
TH-39/7 B00417316 2006 - 自然科学图书借阅室     可借 还书处
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