MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:10
- 题名/责任者:
- 微光机电系统(MOEMS)/张文栋, 熊继军编著
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-111-19266-4/CNY28.00
- 载体形态项:
- 10,310页:图;24cm
- 丛编项:
- 光机电一体化技术丛书
- 个人责任者:
- 张文栋 编著
- 个人责任者:
- 熊继军 编著
- 学科主题:
- 微光技术-应用-机电系统
- 中图法分类号:
- TH-39
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况,微器件的结构设计与仿真,常用的微制造技术;重点介绍了各种MOEMS器件,包括微力学器件、RF微器件、微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
TH-39/7 | B00417315 | 2006 - | 自然科学图书借阅室 | 借出-应还日期:2015-09-29 | |
TH-39/7 | B00417316 | 2006 - | 自然科学图书借阅室 | 可借 | 还书处 |
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