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题名/责任者:

微机电系统基础/(美)刘昶著 黄庆安译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2007

ISBN及定价:

978-7-111-22333-7/CNY49.00

载体形态项:

365页;26cm

并列正题名:

Foundations of MEMS

丛编项:

电子与电气工程丛书

个人责任者:

(美) 刘昶 著

个人次要责任者:

黄庆安 译

学科主题:

微电机

非控制主题词:

微机电系统 MEMS

中图法分类号:

TM38

提要文摘附注:

本书内容包括绪论、微制造导论、电学与机械学基本概念、静电敏感与执行原理、压阻传感器、压电敏感与执行原理、磁执行器、敏感与执行原理总结等。

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