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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：64

题名/责任者:
半导体制造工艺基础/(美)施敏,梅凯瑞著 陈军宁, 柯导明, 孟坚译
出版发行项:
合肥:安徽大学出版社,2007
ISBN及定价:
978-7-81110-292-5/CNY23.00
载体形态项:
284页;26cm
个人责任者:
(美) 施敏 著
个人责任者:
(美) 梅凯瑞 著
个人次要责任者:
陈军宁 译
个人次要责任者:
柯导明 译
个人次要责任者:
孟坚 译
学科主题:
半导体工艺
中图法分类号:
TN305
提要文摘附注:
本书介绍了从晶体生长到集成器件和电路的完整的半导体制造技术，其中包括制造流程中主要步骤的理论和实践经验。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TN305/28 B00490051 2008 - 自然科学图书借阅室     借出-应还日期：2023-12-30 还书处
TN305/28 B00490052 2008 - 自然科学图书借阅室     可借 自助图书馆
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