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题名/责任者:

芯片制造:半导体工艺制程实用教程/(美)Peter Van Zant著 韩郑生，赵树武译

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2010

ISBN及定价:

978-7-121-11372-7/CNY55.00

载体形态项:

15,387页:图;26cm

并列正题名:

Microchip fabrication:a practical guide to semiconductor processing

其它题名:

半导体工艺制程实用教程

丛编项:

国外电子与通信教材系列

个人责任者:

(美) 赞特 (Zant, Peter Van) 著

个人次要责任者:

韩郑生 译

个人次要责任者:

赵树武 译

学科主题:

芯片-半导体工艺-教材

中图法分类号:

TN43

版本附注:

由美国麦格劳－希尔教育出版(亚洲)公司授权出版

版本附注:

据原书第5版译出

提要文摘附注:

本书是一部介绍半导体集成电路和器件技术的专业书籍。本书的范围包括半导体工艺的每个阶段，从原材料制备到封装、测试以及传统和现代工艺。每章包含有习题和复习总结，并辅以丰富的术语表。

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