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题名/责任者:

MEMS可靠性/(美)Allyson L. Hartzell，(美)Mark G. da Silva，(瑞士)Herbert R. Shea著

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2012

ISBN及定价:

978-7-121-18805-3/CNY55.00

载体形态项:

13,220页:图;26cm

并列正题名:

MEMS reliability

丛编项:

国外电子与通信教材系列

个人责任者:

(美) 哈策尔 (Hartzell, Allyson L.) 著

个人责任者:

(美) 席尔瓦 (Silva, Mark G.) 著

个人责任者:

(瑞士) 谢伊 (Shea, Herbert R.) 著

个人次要责任者:

恩云飞 译

个人次要责任者:

贾玉斌 译

个人次要责任者:

黄钦文 译

学科主题:

微电子技术-可靠性-高等学校-教材

中图法分类号:

TN4

提要文摘附注:

本书是关于MEMS可靠性的一本专著，主要内容包括：用于寿命预测的可靠性统计理论，MEMS产品设计阶段和制造阶段的失效模式，MEMS在使用中的失效模式，MEMS的失效根源及分析，MEMS的试验和鉴定标准，以及提升MEMS可靠性的工具和技术。

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