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题名/责任者:

聚焦离子束:应用与实践/邓昱[等]著

出版发行项:

南京:南京大学出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-305-27409-1/CNY68.00

载体形态项:

10,193页:图，照片;23cm

个人责任者:

邓昱 著

学科主题:

离子束聚变装置

中图法分类号:

TL6

题名责任附注:

著者还有：魏大庆、王英、陈振

提要文摘附注:

本书共分七章，从聚焦离子束的结构原理出发，结合应用与实践，对聚焦离子束诱导沉积、溅射刻蚀、离子注入、离子束曝光、联合使用模式以及样品的前期处理进行阐述，并配有实际案例进行进一步详解。

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