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- 题名/责任者:
- 电子工业生产技术手册.6.半导体与集成电路卷/《电子工业生产技术手册》编委会编
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,1989.3
- ISBN及定价:
- 7-118-00214-3 精装/￥21.20
- 载体形态项:
- 696页;20cm
- 编目员补充题名:
- 电子工业 生产 技术 半导体 集成电路
- 学科主题:
- 电子工业-生产-技术手册
- 学科主题:
- 半导体材料-生产-技术手册
- 中图法分类号:
- TN-62
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍各种半导体材料制备工艺,同时包括晶片加工工艺、材料的物理和化学性质等。
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