MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：42
- 题名/责任者:
- 离子注入技术/张光华,钟士谦同编著
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,1982
- ISBN及定价:
- /￥1.05
- 载体形态项:
- 318页;19cm
- 个人责任者:
- 张光华 编著
- 个人次要责任者:
- 钟士谦 编著
- 学科主题:
- 半导体工艺-离子注入
- 学科主题:
- 离子注入-半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305.3
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