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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：22

题名/责任者:
半导体生产净化技术:高纯水的制造及废水、废气的处理/赵玉玮, 陈美智编译
出版发行项:
北京:科学出版社,1987
ISBN及定价:
7-03-000004-8/￥2.00
载体形态项:
254页;19cm
其它题名:
高纯水的制造及废水、废气的处理
个人责任者:
赵玉玮 编译
个人责任者:
陈美智 编译
学科主题:
半导体器件-净化
学科主题:
净化-半导体器件
非控制主题词:
高纯水 废水 废气
中图法分类号:
TN305
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