MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：13
- 题名/责任者:
- 多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用/王阳元,(美)卡明斯(Kamins,T,I.)编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,1988.8
- ISBN及定价:
- 7-03-000308-X/￥7.50
- 载体形态项:
- 522页;20厘米
- 编目员补充题名:
- 多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用
- 个人责任者:
- 王阳元 编著
- 个人责任者:
- 卡明斯(Kamins,T.I.) 编著
- 学科主题:
- 薄膜集成电路
- 中图法分类号:
- TN451
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了多晶硅薄膜的性质及其在MOS和双极型集成电路中的应用。
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