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题名/责任者:

微机电系统/梅涛，伍小平主编

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2003.1

ISBN及定价:

7-5025-4320-1/CNY15.00

载体形态项:

197页;20cm

丛编项:

高新技术科普丛书

个人责任者:

梅涛 主编

个人责任者:

伍小平 主编

学科主题:

微电机-普及读物

学科主题:

微电机

中图法分类号:

TM38

一般附注:

国家科普知识重点图书

提要文摘附注:

本书论述微机械加工工艺、MEMS力学问题、微型传感器、微执行器、真空微电子器件、典型微系统与应用等。

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