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Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

细微加工技术/刘明等编著

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2004

ISBN及定价:

7-5025-6077-7/CNY35.00

载体形态项:

177页:图;26cm

丛编项:

现代加工技术丛书

个人责任者:

刘明 编著

个人责任者:

谢常青 编著

个人责任者:

王丛舜 编著

学科主题:

特种加工-技术

中图法分类号:

TG66

提要文摘附注:

本书详细介绍了光学曝光技术、光学分辨率增强技术、电子束光刻技术、X射线光刻技术、极端远紫外光刻技术、刻蚀技术以及其他纳米加工技术。

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