MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：14
- 题名/责任者:
- 纳米CMOS器件/甘学温等编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2004
- ISBN及定价:
- 7-03-011163-X/CNY45.00
- 载体形态项:
- 344页;24cm
- 个人责任者:
- 甘学温 编著
- 个人责任者:
- 黄如 编著
- 个人责任者:
- 刘晓彦 编著
- 个人责任者:
- 张兴 编著
- 学科主题:
- 互补MOS集成电路
- 非控制主题词:
- 纳米材料
- 非控制主题词:
- cMOS
- 中图法分类号:
- TN304
- 提要文摘附注:
- 全书共六章，内容涉及CMOS器件等比例缩小的发展趋势，缩小到纳米尺寸的CMOS器件面临的挑战，实现纳米图形尺寸的光刻技术,纳米CMOS器件中的栅工程，纳米CMOS器件中的沟道工程，以及各种新型的纳米CMOS器件结构及实现技术。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN304/8 | B00378915 | 2004 |  自然科学图书借阅室
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借出-应还日期：2009-10-26 |
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