无锡市图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

微电子工艺基础/李薇薇, 王胜利, 刘玉岭编著

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2007

ISBN及定价:

978-7-5025-9520-3/CNY29.80

载体形态项:

257页;26cm

个人责任者:

李薇薇 编著

个人责任者:

王胜利 编著

个人责任者:

刘玉岭 编著

学科主题:

微电子技术-生产工艺

中图法分类号:

TN405

提要文摘附注:

本书仅从物理、化学的角度对集成电路制备工艺的原理进行了论述，对工艺过程本身仅作一般性介绍。全书共分10章，主要内容涉及半导体硅材料的化学性质、清洗技术、IC制备工艺中有关的物理、化学知识等。

豆瓣简介：