MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：23
- 题名/责任者:
- 集成电路工艺中的化学品/戴猷元，张瑾编
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2007
- ISBN及定价:
- 978-7-5025-9934-8/CNY28.00
- 载体形态项:
- 188页;24cm
- 个人责任者:
- 戴猷元 编
- 个人责任者:
- 张瑾 编
- 学科主题:
- 集成电路工艺-化工产品
- 中图法分类号:
- TN4
- 提要文摘附注:
- 本书系统提供了集成电路制造过程中用到的化学品的使用性能、毒性及安全等方面的信息。内容包括序言、薄膜制备技术及化学品、晶片清洗技术及化学品、光刻技术及化学品、刻蚀技术及化学品、化学机械抛光技术及化学品、载气及其他化学品。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4/105 | B00460371 | 2007 - |  自然科学图书借阅室
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借出-应还日期：2015-08-12 | |
| TN4/105 | B00460372 | 2007 - | 自然科学图书借阅室
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可借 | 还书处 |
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