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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：28

题名/责任者:
微机电系统基础/(美)刘昶著 黄庆安译
出版发行项:
北京:机械工业出版社,2007
ISBN及定价:
978-7-111-22333-7/CNY49.00
载体形态项:
365页;26cm
并列正题名:
Foundations of MEMS
丛编项:
电子与电气工程丛书
个人责任者:
(美) 刘昶 著
个人次要责任者:
黄庆安 译
学科主题:
微电机
非控制主题词:
微机电系统 MEMS
中图法分类号:
TM38
提要文摘附注:
本书内容包括绪论、微制造导论、电学与机械学基本概念、静电敏感与执行原理、压阻传感器、压电敏感与执行原理、磁执行器、敏感与执行原理总结等。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TM38/15 B00458751 2007 - 调节书库     阅览
TM38/15 B00458752 2007 - 自然科学图书借阅室     借出-应还日期：2021-01-03 还书处
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