MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：17
- 题名/责任者:
- 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统/Rebecca Cheung著 王晓浩 ，唐飞，王文弢译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-03-026862-4/CNY35.00
- 载体形态项:
- 121页:图;24cm
- 丛编项:
- 微纳技术著作丛书
- 个人责任者:
- (英) 张 (女, Cheung, Rebecca) 著
- 个人次要责任者:
- 王晓浩 (1971~) 译
- 个人次要责任者:
- 唐飞 (1973~) 译
- 个人次要责任者:
- 王文弢 (1987~) 译
- 学科主题:
- 半导体材料-微电子技术-研究
- 学科主题:
- 半导体材料
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN304
- 提要文摘附注:
- 本书主要内容包括碳化硅微机电系统(SiCMEMS)介绍，用于碳化硅MEMS的沉积技术，近年来碳化硅的研究相关进展，碳化硅的干法腐蚀，碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN304/13 | B00653468 | 2010 - |  调节书库
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阅览 | 调节书库 |
| TN304/13 | B00653467 | 2010 - | 自然科学图书借阅室
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