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题名/责任者:

微光学和纳米光学制造技术/(美)Shanalyn A. Kemme编著 周海宪, 程云芳译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2012

ISBN及定价:

978-7-111-39448-8/CNY66.00

载体形态项:

12,196页:图;24cm

并列正题名:

Microoptics and nanooptics fabrication

丛编项:

国际信息工程先进技术译丛

个人责任者:

(美) 凯米 (Kemme, Shanalyn A.) 编著

个人次要责任者:

周海宪 译

个人次要责任者:

程云芳 译

学科主题:

微光技术-光学元件-制造

学科主题:

纳米材料-光学元件-制造

中图法分类号:

TH74

相关题名附注:

封面英文题名：Microoptics and nanooptics fabrication

提要文摘附注:

本书内容包括面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术、纳米压印光刻技术和器件应用、平面光子晶体的设计和制造、三维（3D）光子晶体的制造——钨成型法。

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