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题名/责任者:

硅微机械传感器/郑志霞著

出版发行项:

杭州:浙江大学出版社,2012

ISBN及定价:

978-7-308-10879-9/CNY35.00

载体形态项:

199页:图;26cm

并列正题名:

Mechanical microsensors

个人责任者:

郑志霞 (女， 1972-) 著

学科主题:

传感器

非控制主题词:

硅微机械传感器

中图法分类号:

TP212

提要文摘附注:

本书围绕硅微机械传感器的基本原理、工艺技术、应用领域及接口电路等几个方面展开介绍和讨论。主要内容有：微机械系统的发展历史、现状、应用领域及前景；硅的物理、化学、机械特性；微机械传感器的主要工艺技术和特殊工艺的研究；常见微机械传感器结构；硅微机械压力传感器、加速度传感器、角速度传感器、热流体传感器的基本原理、结构设计、工艺过程及应用等；常见传感器的接口电路；微机械传感器的封装技术及几种常见微传感器的封装。

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