MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：25
- 题名/责任者:
- 微系统光学检测技术/(德)伏尔夫岗·奥斯腾主编 王伯雄等译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-111-45837-1/CNY95.00
- 载体形态项:
- 16,442页:图;24cm
- 丛编项:
- 国际制造业先进技术译丛
- 个人责任者:
- (德) 奥斯腾 (Osten, Wolfgang) 主编
- 个人次要责任者:
- 王伯雄 (1947-) 译
- 学科主题:
- 微电子技术-光学测量
- 中图法分类号:
- TB96
- 相关题名附注:
- 封面英文题名：Optical inspection of microsystems
- 提要文摘附注:
- 微系统的尺度小，材料组合性强，功能多，对它的测量与检测构成了该领域新的挑战。书中将检测技术原理与众多应用实例相结合，介绍了微系统检测的应用光学技术，主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾，包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术，同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。
全部MARC细节信息>>
自然科学图书借阅室