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题名/责任者:

半导体工艺和器件仿真软件Silvaco TCAD实用教程/唐龙谷编著

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2014

ISBN及定价:

978-7-302-35431-4/CNY35.00

载体形态项:

235页;26cm+1光盘

个人责任者:

唐龙谷 编著

学科主题:

半导体工艺-计算机仿真-教材

学科主题:

半导体器件-计算机仿真-教材

学科主题:

半导体工艺

学科主题:

计算机仿真

学科主题:

半导体器件

中图法分类号:

TN305

载体形态附注:

附光盘：ISBN 978-7-89395-012-4

提要文摘附注:

本书以Silvaco TCAD 2012为背景，介绍了Silvaco TCAD器件仿真基本概念、Deckbuild集成环境、Tonyplot显示工具、ATHENA工艺仿真、ALTAS器件仿真、MixedMode器件-电路混合仿真以及C注释器等高级工具。

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