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题名/责任者:

微米加工与纳米制造/(美) 马克 J. 杰克逊主编 缪旻, 张月霞, 李振松译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2016

ISBN及定价:

978-7-111-51482-4/CNY128.00

载体形态项:

375页:图;24cm

统一题名:

Microfabrication and nanomanufacturing

丛编项:

国际制造业先进技术译丛

个人责任者:

杰克逊 (Jackson, Mark J.) 主编

个人次要责任者:

缪旻 译

个人次要责任者:

张月霞 译

个人次要责任者:

李振松 译

学科主题:

纳米技术

中图法分类号:

TB303

相关题名附注:

英文原题名取自于封面

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书是微米/纳米加工技术方面的一本优秀著作，既有一定的理论深度，又有足够的广度，而且还有较高的可读性。它较为系统地梳理了微米加工（特别是非硅基加工）技术以及纳米加工手段，结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例，阐释了这些技术的原理和特点，提出了特定问题的高效率解决方案，给出了工艺设计方面的指南，并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。

使用对象附注:

微米/纳米技术的研究者、微米/纳米工艺工程师、微米/纳米机电系统及其三维集成与封装方面的设计师等。

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