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题名/责任者:

集成电路与光刻机/王向朝等著

出版发行项:

北京:科学出版社,2020.8

ISBN及定价:

978-7-03-065792-3/CNY58.00

载体形态项:

133页;24cm

个人责任者:

王向朝 著

学科主题:

集成电路

学科主题:

光刻设备

中图法分类号:

TN4

中图法分类号:

TN305.7

提要文摘附注:

光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程。重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等。简要介绍了计算光刻技术。最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。本书可供光刻机相关领域的科研与工程技术人员，以及关注集成电路与光刻机的社会各界人士阅读。也可供相关研究方向的学生阅读，也适合对光刻机感兴趣的大众阅读参考。

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