检索到 5 条 主题词=微机电系统 的结果
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中文图书1.硅基MEMS制造技术 TH-39/74
馆藏复本：1
可借复本：1 王跃林，吴国强等编著
电子工业出版社 2022.04
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中文图书2.MEMS系统级建模 TH-39/70
馆藏复本：1
可借复本：1 (德)塔玛拉·贝克唐德(Tamara Bechtold)，(德)加布里尔·施拉格(Gabriele Schrag)，冯丽红著
东南大学出版社 2020
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中文图书3.微机电系统（MEMS）:元器件、电路及系统集成技术和应用 TH-39/68
馆藏复本：1
可借复本：1 (美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary)，(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编
机械工业出版社 2020
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中文图书4.硅MEMS工艺与设备基础 TM38/20
馆藏复本：1
可借复本：1 阮勇，尤政编著
国防工业出版社 2018
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中文图书5.微机电系统基础 TM38/15
馆藏复本：2
可借复本：0 (美)刘昶著
机械工业出版社 2007
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