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中文图书1.芯片制造:半导体工艺与设备 TN43/40
馆藏复本:2
可借复本:1 陈译,陈铖颖,张宏怡编著
机械工业出版社 2022
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中文图书2.芯片制造:半导体工艺制程实用教程:a practical guide to semiconductor processing TN43/26
馆藏复本:2
可借复本:1 (美)Peter Van Zant著
电子工业出版社 2010
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