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• 200 1_ |a 大规模和超大规模集成电路基础工艺技术 |A da gui mo he chao da gui mo ji cheng dian lu ji chu gong yi ji shu |f 何华生编著

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 1985

• 215 __ |a 211页 |d 20cm

• 606 __ |a 大规模集成电路 |x 工艺

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• 701 _0 |a 何华生 |A he hua sheng |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 深圳图书馆

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