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• 200 1_ |a 半导体工艺和器件仿真软件Silvaco TCAD实用教程 |9 ban dao ti gong yi he qi jian fang zhen ruan jian Silvaco TCAD shi yong jiao cheng |b 专著 |f 唐龙谷编著

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2014

• 215 __ |a 235页 |d 26cm |e 1光盘

• 307 __ |a 附光盘：ISBN 978-7-89395-012-4

• 330 __ |a 本书以Silvaco TCAD 2012为背景，介绍了Silvaco TCAD器件仿真基本概念、Deckbuild集成环境、Tonyplot显示工具、ATHENA工艺仿真、ALTAS器件仿真、MixedMode器件-电路混合仿真以及C注释器等高级工具。

• 606 0_ |a 半导体工艺 |x 计算机仿真 |j 教材

• 606 0_ |a 半导体器件 |x 计算机仿真 |j 教材

• 606 0_ |a 半导体工艺

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• 701 _0 |a 唐龙谷 |9 tang long gu |4 编著

• 801 _0 |a CN |b OLCC |c 20140912

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