机读格式显示(MARC)

• 000 01126oam2 22003131 450

• 001 0000443228

• 005 20111107101800.0

• 010 __ |a 978-7-03-026862-4 |d CNY35.00

• 100 __ |a 20100428d2010 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |e eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 |A yong yu e lie huan jing de tan hua gui wei ji dian xi tong |f Rebecca Cheung著 |g 王晓浩 ，唐飞，王文弢译

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2010

• 215 __ |a 121页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微纳技术著作丛书

• 330 __ |a 本书主要内容包括碳化硅微机电系统(SiCMEMS)介绍，用于碳化硅MEMS的沉积技术，近年来碳化硅的研究相关进展，碳化硅的干法腐蚀，碳化硅MEMS的设计、性能和应用等。

• 461 _0 |1 001003429696

• 606 0_ |a 半导体材料 |x 微电子技术 |x 研究

• 606 0_ |a 半导体材料

• 606 0_ |a 微电子技术

• 690 __ |a TN304 |v 4

• 701 _0 |c (英) |a 张 |A zhang |c (女, Cheung, Rebecca) |4 著

• 702 _0 |a 王晓浩 |A wang xiao hao |f (1971~) |4 译

• 702 _0 |a 唐飞 |A tang fei |f (1973~) |4 译

• 702 _0 |a 王文弢 |A wang wen tao |f (1987~) |4 译

• 801 _0 |a CN |b Wuxilib |c 20111026

• 905 __ |a Wuxilib |d TN304/13