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• 000 01364nam0 2200313 450

• 001 0001092061

• 005 20220906110700.0

• 010 __ |a 978-7-121-43208-8 |b 精装 |d CNY138.00

• 100 __ |a 20220520d2022 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 硅基MEMS制造技术 |9 gui ji MEMS zhi zao ji shu |b 专著 |f 王跃林，吴国强等编著

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2022.04

• 215 __ |a 17,350页 |c 图 |d 24cm

• 225 1_ |a 集成电路系列丛书 |i 集成电路制造 |f 赵海军主编

• 300 __ |a 国家出版基金项目 集成电路产业知识赋能工程

• 312 __ |a 封面英文题名：Silicon-based MEMS manufacturing technology

• 330 __ |a 本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构，进而实现硅基EMs芯片的批量制造，系统介绍了硅基IEMs芯片制造技术。由于Ms涉及学科较多，为了让不同学科背景的人能够快速读懂本书，本书先对MEMS的来龙去脉及MEMS出现的原因进行了简单介绍，然后详细介绍了相关内容，尽量做到通俗易懂。希望读者通过本书能全面了解硅基MEMS芯片制造技术，为从事与EMs相关的工作打下基础。

• 333 __ |a 微机电系统研究人员

• 510 1_ |a Silicon-based MEMS manufacturing technology |z eng

• 606 0_ |a 微机电系统 |x 研究

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _0 |a 王跃林 |9 wang yue lin |4 编著

• 701 _0 |a 吴国强 |9 wu guo qiang |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20220520

• 801 _2 |a CN |b Wuxilib |c 20220906

• 905 __ |a Wuxilib |d TH-39/74