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• 200 1_ |a 微机电系统 |9 wei ji dian xi tong |f 梅涛，伍小平主编

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2003.1

• 215 __ |a 197页 |d 20cm

• 225 2_ |a 高新技术科普丛书

• 300 __ |a 国家科普知识重点图书

• 330 __ |a 本书论述微机械加工工艺、MEMS力学问题、微型传感器、微执行器、真空微电子器件、典型微系统与应用等。

• 461 _0 |1 001012001019523 |1 2001 |a 高新技术科普丛书

• 606 __ |a 微电机 |j 普及读物

• 606 __ |2 CT |3 S077518 |a 微电机

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 梅涛 |9 mei tao |4 主编

• 701 _0 |a 伍小平 |9 wu xiao ping |4 主编

• 801 _0 |a CN |b NLC |c 20030312

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• 905 __ |a Wuxilib |d TM38/12