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• 010 __ |a 978-7-111-63324-2 |d CNY59.00

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• 200 1_ |a 一砂一世界 |9 yi sha yi shi jie |b 专著 |e 一书读懂MEMS产业的现状与未来 |f 冯锦锋，马进编著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2019

• 215 __ |a 204页 |c 图，照片 |d 24cm

• 330 __ |a 本书共6章，介绍了MEMS技术、产品、产业及应用，阐述了MEMS基本情况和发展趋势。

• 517 1_ |a 一书读懂MEMS产业的现状与未来 |9 yi shu du dong MEMS chan ye de xian zhuang yu wei lai

• 606 0_ |a 微电机 |x 电机工业 |x 产业发展 |x 研究

• 690 __ |a F407.61 |v 5

• 701 _0 |a 冯锦锋 |9 feng jin feng |4 编著

• 701 _0 |a 马进 |9 ma jin |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 浙江省新华书店集团公司 |c 20190920

• 801 _2 |a CN |b Wuxilib |c 20200603

• 905 __ |a Wuxilib |d F407.61/16