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• 200 1_ |a 细微加工技术 |9 xi wei jia gong ji shu |f 刘明等编著

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2004

• 215 __ |a 177页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 现代加工技术丛书

• 330 __ |a 本书详细介绍了光学曝光技术、光学分辨率增强技术、电子束光刻技术、X射线光刻技术、极端远紫外光刻技术、刻蚀技术以及其他纳米加工技术。

• 461 _0 |1 2001 |a 现代加工技术丛书

• 606 __ |a 特种加工 |x 技术

• 690 __ |a TG66 |v 4

• 701 _0 |a 刘明 |9 liu ming |4 编著

• 701 _0 |a 谢常青 |9 xie chang qing |4 编著

• 701 _0 |a 王丛舜 |9 wang cong shun |4 编著

• 801 _0 |a CN |b SG08 |c 20041207

• 801 _2 |a CN |b Wuxilib |c 20050124

• 905 __ |a Wuxilib |d TG66/7