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• 200 1_ |a 离子注入技术 |A li zi zhu ru ji shu |f 张光华,钟士谦同编著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 1982

• 215 __ |a 318页 |d 19cm

• 606 __ |a 半导体工艺-离子注入

• 606 __ |a 离子注入-半导体工艺

• 690 __ |a TN305.3 |v 3

• 701 _0 |a 张光华 |A zhang guang hua |4 编著

• 702 _0 |a 钟士谦 |A zhong shi qian |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 上海图书馆

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• 905 __ |a Wuxilib |d TN305.3/2