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• 200 1_ |a 微光机电系统(MOEMS) |9 wei guang ji dian xi tong(MOEMS) |f 张文栋, 熊继军编著

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2006

• 215 __ |a 10,310页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 光机电一体化技术丛书

• 330 __ |a 本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术；重点介绍了各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器件、微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。

• 461 _0 |1 2001 |a 光机电一体化技术丛书

• 606 0_ |a 微光技术 |x 应用 |x 机电系统

• 690 __ |a TH-39 |v 4

• 701 _0 |a 张文栋 |9 zhang wen dong |4 编著

• 701 _0 |a 熊继军 |9 xiong ji jun |4 编著

• 801 _0 |a CN |b SG08 |c 20060831

• 801 _2 |a CN |b Wuxilib |c 20070214

• 905 __ |a Wuxilib |d TH-39/7