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• 200 1_ |a 超大规模集成电路工艺学 |A chao da gui mo ji cheng dian lu gong yi xue |f (美)史西蒙(Sze,S.M.)主编 |g 史常忻译

• 210 __ |a 上海 |c 上海交通大学出版社 |d 1987

• 215 __ |a 456页 |d 26cm

• 606 __ |a 超大规模集成电路 |x 工艺学

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• 701 _1 |a 史西蒙 |A shi xi meng |b S.M. |4 主编

• 701 A1 |a Sze |b S.M. |4 主编

• 702 _0 |a 史常忻 |A shi chang xin |4 译

• 801 _0 |a CN |b 深圳图书馆

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• 905 __ |a Wuxilib |d TN47/26