机读格式显示(MARC)

• 000 01191nam0 2200301 450

• 001 0000562023

• 005 20140807102200.0

• 010 __ |a 978-7-111-40657-0 |d CNY69.00

• 100 __ |a 20130318d2013 em y0chiy0110 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统基础 |9 wei ji dian xi tong ji chu |b 专著 |d Foundations of mems |f (美)Chang Liu著 |g 黄庆安译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2013

• 215 __ |a 13,397页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 国外电子电气经典教材系列

• 305 __ |a 据原书第2版译出

• 305 __ |a 由Pearson Education（培生教育出版集团）授权出版

• 330 __ |a 本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。

• 510 1_ |a Foundations of mems |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |c (美) |a 刘昶 |9 liu chang |4 著

• 702 _0 |a 黄庆安 |9 huang qing an |4 译

• 801 _0 |a CN |b ZL |c 20130318

• 801 _2 |a CN |b Wuxilib |c 20140807

• 905 __ |a Wuxilib |d TM38/17