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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 机械设计手册 |9 ji xie she ji shou ce |e 单行本 |i 微机电系统及设计 |b 专著 |f 闻邦椿主编 |g 黄庆安分册主编

• 205 __ |a 6版

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2020

• 215 __ |a 13,140页 |c 图 |d 26cm

• 312 __ |a 封面英文共同题名：Machine design handbook

• 330 __ |a 本书主要介绍了微机电系统概述、微机电系统制造、微机电系统设计、微机电系统实例等内容。

• 606 0_ |a 机械设计 |j 技术手册

• 606 0_ |a 微电机 |x 系统设计 |j 技术手册

• 690 __ |a TH122-62 |v 5

• 701 _0 |a 闻邦椿 |9 wen bang chun |4 主编

• 702 _0 |a 黄庆安 |9 huang qing an |4 分册主编

• 801 _0 |a CN |b 浙江省新华书店集团公司 |c 20200424

• 801 _2 |a CN |b Wuxilib |c 20220725

• 905 __ |a Wuxilib |d TH122-62/91