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• 010 __ |a 978-7-111-64958-8 |d CNY139.00

• 100 __ |a 20200605d2020 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统（MEMS） |9 wei ji dian xi tong（MEMS） |b 专著 |e 元器件、电路及系统集成技术和应用 |f (美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary)，(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编 |g 周海宪，程云芳，周华伟等译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2020

• 215 __ |a 23,383页 |c 图，照片 |d 26cm

• 225 2_ |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

• 305 __ |a 由Taylor & Francis Group LLC出版公司授权出版

• 306 __ |a 本书限中国大陆发行

• 312 __ |a 版权页英文题名：MEMS: fundamental technology and applications (devices, circuits, and systems)

• 330 __ |a 本书共19章，分为两大部分：第1-9章为突破性技术部分，讨论各类新型微机电系统（MENMS）器件；第10-19章属应用部分，阐述以MEMS为基础的各种新颖的应用。

• 461 _0 |1 2001 |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

• 510 1_ |a MEMS |e fundamental technology and applications (devices, circuits, and systems) |z eng

• 517 1_ |a 元器件、电路及系统集成技术和应用 |9 yuan qi jian、dian lu ji xi tong ji cheng ji shu he ying yong

• 606 0_ |a 微机电系统 |x 研究

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _0 |c (美) |a 乔杜里 |9 qiao du li |c (Choudhary, Vikas) |4 主编

• 701 _0 |c (加) |a 印纽斯基 |9 yin niu si ji |c (Iniewski, Krzysztof) |4 主编

• 702 _0 |a 周海宪 |9 zhou hai xian |4 译

• 702 _0 |a 程云芳 |9 cheng yun fang |4 译

• 702 _0 |a 周华伟 |9 zhou hua wei |4 译

• 801 _0 |a CN |b 浙江省新华书店集团公司 |c 20200605

• 801 _2 |a CN |b Wuxilib |c 20210125

• 905 __ |a Wuxilib |d TH-39/68