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• 010 __ |a 978-7-03-021872-8 |b 精装 |d CNY58.00

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• 200 1_ |a 微机电系统动力学 |9 wei ji dian xi tong dong li xue |d Micro-electro-mechanical system dynamics |f 孟光, 张文明著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2008

• 215 __ |a 336页 |c 图 |d 25cm

• 300 __ |a 中国科学院科学出版基金资助出版

• 330 __ |a 本书共分7章，主要内容包括：微机电系统及微机电系统动力学科学问题的发展背景、现状和未来的介绍；微驱动原理及尺度效应、微机电系统动力学相关理论基础的概述等。

• 510 1_ |a Micro-electro-mechanical system dynamics |z eng

• 606 0_ |a 微电子学 |x 系统动态学

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 孟光 |9 meng guang |4 著

• 701 _0 |a 张文明 |9 zhang wen ming |4 著

• 801 _0 |a CN |b SG08 |c 20080811

• 801 _2 |a CN |b Wuxilib |c 20081225

• 905 __ |a Wuxilib |d TM38/16