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• 010 __ |a 978-7-121-18805-3 |d CNY55.00

• 100 __ |a 20121214d2012 em y0chiy0110 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS可靠性 |9 MEMS ke kao xing |b 专著 |d MEMS reliability |f (美)Allyson L. Hartzell，(美)Mark G. da Silva，(瑞士)Herbert R. Shea著

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2012

• 215 __ |a 13,220页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 国外电子与通信教材系列

• 330 __ |a 本书是关于MEMS可靠性的一本专著，主要内容包括：用于寿命预测的可靠性统计理论，MEMS产品设计阶段和制造阶段的失效模式，MEMS在使用中的失效模式，MEMS的失效根源及分析，MEMS的试验和鉴定标准，以及提升MEMS可靠性的工具和技术。

• 410 _0 |1 2001 |a 国外电子与通信教材系列

• 510 1_ |a MEMS reliability |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 可靠性 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |c (美) |a 哈策尔 |9 ha ce er |c (Hartzell, Allyson L.) |4 著

• 701 _0 |c (美) |a 席尔瓦 |9 xi er wa |c (Silva, Mark G.) |4 著

• 701 _0 |c (瑞士) |a 谢伊 |9 xie yi |c (Shea, Herbert R.) |4 著

• 702 _0 |a 恩云飞 |9 en yun fei |4 译

• 702 _0 |a 贾玉斌 |9 jia yu bin |4 译

• 702 _0 |a 黄钦文 |9 huang qin wen |4 译

• 801 _0 |a CN |b ZL |c 20121214

• 801 _2 |a CN |b Wuxilib |c 20130826

• 905 __ |a Wuxilib |d TN4/118