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• 200 1_ |a 光致抗蚀剂 |A guang zhi kang shi ji |e 光刻胶 |f 中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》组编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 1977

• 215 __ |a 190页 |d 19cm

• 606 __ |a 半导体工艺-电子束光刻

• 606 __ |a 电子束光刻-半导体工艺

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• 711 02 |a 中国科学院化学研究所光致抗蚀剂组 |A zhong guo ke xue yuan hua xue yan jiu suo guang zhi kang shi ji zu |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 广东省中山图书馆

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